①誤操作;比如突然的破真空，因為轉子與靜子葉片之間的空隙非常的小，如果葉片的材質比較薄或者比較軟，突然的空氣阻力會造成葉片變形，這樣可能會造成轉子靜子之間的摩擦，導致打碎。

　　②是異物掉入;沒有安裝過濾網使肯定不行的，另外掉進去的東西不一定要多大，但如果硬度夠了一樣會造成傷害，輕則造成葉片邊緣被打成鋸齒狀，重則打碎葉片。所以現在的設備商在安裝分子泵的時候會盡量改為側面90度或倒立安裝，避免異物掉入。

　　③電壓的不穩定，特別對磁浮類的分子泵損傷較大。

　　④前級泵的效率差;我們知道腔體內的大部分氣體首先是通過前級泵抽出，真空達到一定程度分子泵才會啟動。如果前級泵的效率差，分子泵就會比較吃力，啟動速度慢，抽氣時間長，電流高，分子泵溫度升高等。

　　⑤分子泵保養時的動平衡沒有做好，這是技術的關鍵，動平衡差，振動就大，抽氣效率就差，也容易造成軸承部分的過度磨損。

　　⑥軸承部分沒有使用原廠的標準軸承，效果和尺寸不標準等。